| 真空系統(tǒng)配置 |
分子泵系統(tǒng)或擴(kuò)散泵系統(tǒng)、粗抽機(jī)組、維持泵等組成 |
| 控制系統(tǒng) |
全自動(dòng)+手動(dòng)系統(tǒng) |
| 參數(shù)存儲(chǔ) |
可對(duì)鍍膜機(jī)運(yùn)行當(dāng)中的工藝參數(shù)實(shí)時(shí)地進(jìn)行采集和存儲(chǔ)，鍍膜機(jī)使用者可以對(duì)歷史記錄(如靶功率、靶電流、靶電壓、氣體流量、真空室壓強(qiáng)、溫度等)進(jìn)行翻閱、查找，以進(jìn)行數(shù)據(jù)分析和工藝改進(jìn)。 |
| 其它功能 |
異常報(bào)警、故障報(bào)警、故障自檢提示等功能，最大限度地保障鍍膜機(jī)的運(yùn)行安全和操作者的人身安全；采用北京質(zhì)量流量控制單元或選配MKS流量計(jì)控制單元 |
| 驅(qū)動(dòng)及工件轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng) |
變頻器控制，設(shè)置快慢轉(zhuǎn)，可配腳踏開(kāi)關(guān)(用于裝卸件)；三菱E700型變頻器、三相異步電機(jī)、減速機(jī)、邊傳動(dòng)，自轉(zhuǎn)桿 |
| 濺射靶系統(tǒng) |
陰極電弧、逆變式弧電源等；濺射靶(圓柱孿生靶、平面靶)，中頻電源、偏壓電源等 |
| 截流閥系統(tǒng) |
電動(dòng)截流擋板0～90°任意角度可調(diào)。 |
