計(jì)算參數(shù) | DL-2000H | 備注 |
真空室規(guī)格 mm | Ø2000*1400 | 直徑高度 |
真空室形式 | vertical type | |
門數(shù)量 | Inspection window | 單或雙開(kāi)門 |
極限真空 | 7.8×10-4 | 空載 |
真空系統(tǒng) Pa | 分子泵+羅茨泵機(jī)組+維持泵 | |
工作真空 Pa | 7.0×10-3≤10min | 空載≤min 滿載≤11min |
顯示屏類、手機(jī)類、車載類產(chǎn)品制造生產(chǎn)的專用、關(guān)鍵設(shè)備。該設(shè)備配置磁控濺射靶、離子源及專用蒸發(fā)電源;裝卸產(chǎn)品的快速、方便,是目前通用的方式。